精密ピンホール Pin Holes

ピンホールとは、スペイシャル(空間)フィルター、解析技術、結像システム、レーザー装置の他、検査・校正の基準などの光学以外の用途にも有用な光学部品です。ほぼ真円の穴形状を有し、精密光学システムの設計・製造をする上で必須の製品です。

レックス(LEX)のピンホールは、ニッケルまたは銅の薄板に、電気鋳造法によるミクロン単位の微細な穴加工を施しています。従来のレーザードリルによる加工とは異なり、ピンホールの真円度が高く、穴の縁が非常に滑らかです。

特にニッケルは、他の材料に比べ耐食性が高く、耐久性に優れ、高温や低温での強度が高い材質の為、基板の強度が高く、取り扱いが容易となっています。

電鋳加工は、レーザー加工やエッチング加工に比べ、ピンホール径:φ1μm程度からの微細で高精度の加工が可能です。逆に、ピンホール径がφ50~60μm以上であれば、廉価なステンレス(SUS)製のレーザー加工品またはエッチング加工品をお選びいただく事も可能です。

基板の片面には深さ3μmのザグリを設け、ピンホールのエッジには厚さと同じ曲率を持つ構造を有します。これにより実質的なピンホールの厚さがほぼゼロとなり、基板のどちら側から光を入射させても同じ効果が得られます。

ピンホールに付着した汚れや塵のクリーニングには、弱いエアーブローが適しています。

ピンホールの基板は非常に薄いため、外的圧力に非常に弱く、曲げや歪み等により簡単に使用不能となってしまいます。そこで取扱いを容易にするために、直径16mmのアルミ製マウントに納められた製品も標準でご用意しています。

高エネルギーレーザー用は、熱伝導率の高い銅薄膜の基板に、赤外線(IR)に対する反射率の高い金をコーティングし、損傷しきい値は約50MW/cm2(@700nm)となっています。

ピンホールは、欠陥検査装置のテスト、校正にもご使用いただけます。

標準のカタログ製品の外に、以下のような特別注文にも対応します。お気軽にお問合せください。

  • ピンホール径、基板の外径、および基板の外形形状の変更
  • 1枚の基板への複数のピンホール加工
  • 反射防止のための黒染め処理
  • レーザー加工、フォトエッチング加工による廉価タイプ(材質:SUS304、アルミニウム)
  • タングステン、モリブデンなどの特殊な材質の製品

仕様

基板の材質
純度99.9%のニッケル(標準品)
または、銅に両面金メッキ
(高エネルギー用)
ピンホールの位置公差
±0.1mm
基板の直径
φ9.5 +0.0/-0.1mm
基板の厚さ(t)
20±5μm
エッジの深さ(a)
3μm
マウント(枠)の材質
アルミニウム(黒色アルマイト処理)
ピンホール径W
(μm)
ピンホール径の公差
(μm)
製品番号
標準ピンホール 高エネルギー用ピンホール
ピンホールのみ マウント付 ピンホールのみ マウント付
1 0.5/-0.3 PP1N PP1NM PP1CH PP1CHM
2 ±0.5 PP2N PP2NM PP2CH PP2CHM
3 ±1.0 PP3N PP3NM PP3CH PP3CHM
4 ±1.0 PP4N PP4NM PP4CH PP4CHM
5 ±2.0 PP5N PP5NM PP5CH PP5CHM
6 ±2.0 PP6N PP6NM PP6CH PP6CHM
7 ±2.0 PP7N PP7NM PP7CH PP7CHM
8 ±2.0 PP8N PP8NM PP8CH PP8CHM
9 ±2.0 PP9N PP9NM PP9CH PP9CHM
10 ±2.0 PP10N PP10NM PP10CH PP10CHM
12 ±2.0 PP12N PP12NM PP12CH PP12CHM
15 ±2.0 PP15N PP15NM PP15CH PP15CHM
20 ±2.0 PP20N PP20NM PP20CH PP20CHM
25 ±3.0 PP25N PP25NM PP25CH PP25CHM
30 ±3.0 PP30N PP30NM PP30CH PP30CHM
35 ±3.0 PP35N PP35NM PP35CH PP35CHM
40 ±3.0 PP40N PP40NM PP40CH PP40CHM
50 ±4.0 PP50N PP50NM PP50CH PP50CHM
75 ±5.0 PP75N PP75NM PP75CH PP75CHM
100 ±5.0 PP100N PP100NM PP100CH PP100CHM
150 ±5.0 PP150N PP150NM PP150CH PP150CHM
200 ±6.0 PP200N PP200NM PP200CH PP200CHM
300 ±8.0 PP300N PP300NM PP300CH PP300CHM
400 ±8.0 PP400N PP400NM PP400CH PP400CHM
500 ±8.0 PP500N PP500NM PP500CH PP500CHM
600 ±9.0 PP600N PP600NM PP600CH PP600CHM
800 ±9.0 PP800N PP800NM PP800CH PP800CHM
1000 ±10.0 PP1000N PP1000NM PP1000CH PP1000CHM
1500 ±15.0 PP1500N PP1500NM
2000 ±15.0 PP2000N PP2000NM

* ほとんどの製品が在庫されており、即納が可能です。お気軽にお問合せください。
* 穴径および外径の変更、1枚の基板への複数の穴加工、黒染め処理(反射防止)等の特注にも対応します。
* レーザー加工、エッチング加工の場合、ピンホールの断面は緩いテーパーの付いた形状となります。

ピンホール(基板)の寸法
マウント(アルミ製枠)付きピンホールの寸法
ピンホール(基板)の断面図
(Rの付いた面側に、黒マジックの印をしています)
(マウント付は、刻印側がRの付いた面です)
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